手動探針臺系統(tǒng)

簡要描述：手動探針臺系統(tǒng)，可測試晶圓尺寸:最大4英寸樣品臺行程:100mm*100mm移動分辨率:~0.1mm樣品臺旋轉(zhuǎn)范圍:360度低漏電底柵接口，標(biāo)準(zhǔn)Triax 輸出可選 400 度高溫樣品臺

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產(chǎn)品描述

手動探針臺系統(tǒng)，可定制手動探針臺系統(tǒng)，整套系統(tǒng)包配置有探針臺主體、顯微鏡、針座、探針線纜、探針等配置如下：

序號	項(xiàng)目	說明
1	探針臺主體	可測試晶圓尺寸:最大4英寸樣品臺行程:100mm*100mm移動分辨率:~0.1mm樣品臺旋轉(zhuǎn)范圍:360度低漏電底柵接口，標(biāo)準(zhǔn)Triax 輸出可選 400 度高溫樣品臺
2	顯微鏡	舜宇三目連續(xù)變倍體視鏡，LED環(huán)形照明光學(xué)變倍總倍率 45倍，物鏡 0.7~4.5倍連續(xù)變倍可選配高清攝像頭，總放大倍率約700倍
3	針座	磁性吸附底座，XYZ移動范圍:12mm移動分辨率 2um標(biāo)配4個(gè)，最多可裝6個(gè)
4	探針線纜	低漏電探針設(shè)計(jì)，漏電流低于100fATriax 標(biāo)準(zhǔn)接口輸出，Keithley原裝低噪聲 Triax 線纜
5	探針	低漏電探針設(shè)計(jì)，針尖直徑標(biāo)配10um，最小1um
6	尺寸和自重	尺寸:450mmW450mmD500mmH;自重:約 30Kg。